Loading presentation...

Present Remotely

Send the link below via email or IM

Copy

Present to your audience

Start remote presentation

  • Invited audience members will follow you as you navigate and present
  • People invited to a presentation do not need a Prezi account
  • This link expires 10 minutes after you close the presentation
  • A maximum of 30 users can follow your presentation
  • Learn more about this feature in our knowledge base article

Do you really want to delete this prezi?

Neither you, nor the coeditors you shared it with will be able to recover it again.

DeleteCancel

EBL

Electron Beam Litography
by

Istvan Lukacs

on 4 October 2010

Comments (0)

Please log in to add your comment.

Report abuse

Transcript of EBL

Elektronsugaras litográfia
Az elektronsugaras litográfia alapjai
Nanoobjektumok kontaktálása
Nanostruktúrák készítése és egyéb alkalmazások
Az elektronsugaras litográfia alapjai
Elektronsugár és anyag
Az elv
Alpha, Beta és Eta meghatározása
Proximity hatás
Az eredmény független a másik kettő paramétertől
Az eredmény nem független a másik kettő paramétertől
Megbecsülöm (pl monte-carlo simulációval) az alpha, beta és eta paramétert
Előállítom a becslésnek megfelelő tesztábrát
Ha a becslésem helyes, akkor az exponált vonalak azonos magasságig hívódnak elő
Ellenkező esetben módosítani kell a paramétereken, és vissza az 1. ponthoz
Az elektronsugár hatásai:
Töltődés
Melegedés
Rugalmas és rugalmatlan szórás
Ionizáció
Auger
Lumineszcencia
Kémiai tulajdonság megváltoztatása
Fémezés, lift-off
Marás
Implantálás
Adalékolás
Nanoobjektumok kontaktálása
Szükséges eszközök
A "base chip" alkalmazása
A kontaktálás folyamata
+1 példa
Nanostruktúrák készítése és egyéb alkalmazások
A mikroszkóp felbontásának vizsgálata
Egyéb lehetőségek, tervek
Köszönetnyilvánítás
Rendezett ZnO nanorudak növesztése
Mestermaszkok készítése
Kvantumeffektusok mérése nanoszálakban (InAs)
ZnO alapú gázdetektorok, mikroerőmérők
Energy harvesting (fotoelektromos, mechanikai energia)
Mikrolézerek, fotonikus kristályok, mikrolencsék
Volk János
Erdélyi Róbert
Imre Alexandra
Dobrik Gergő
Csonka Szabolcs
Payer Károlyné
Lukács István
Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet
Full transcript