Introducing 

Prezi AI.

Your new presentation assistant.

Refine, enhance, and tailor your content, source relevant images, and edit visuals quicker than ever before.

Loading…
Transcript

PVD-CVD-ALD

PVD(Physical Vapor Deposition)

PVD

YÖNTEMLER

*PVD'de temizleme işlemi yüzeye yapışma derecesini çok etkilediğinden CVD yöntemindeki temizleme işlemine oranla daha önemlidir.

BUHARLAŞTIRMA TEKNİĞİ

TEKNİKLER

Elektron Demeti Tekniği

Katodik-ark biriktirme

Ark-PVD kaplama işleminde makropartikül ve yüzey morfolojisinin oluşumunu gösteren şematik çizim.

İYON KAPLAMA

İyon kaplama makinesi

ÖRNEK RESİMLER

VİDEO ÖRNEĞİ

-Otomotiv

-Medikal

-Kesici takımlar

-Ateşli silahlar

-Dekorasyon gibi alanlarda kullanılır.

UYGULAMA ALANLARI

CVD (Chemical Vapor Deposition)

CVD

YÖNTEMLER

Uygulama Alanları

UYGULAMA ALANLARI

Optik fiberler ve telekomünikasyon, nano makineler, yarı iletkenler ve ilgili cihazlar, bütünleşmiş devreler, algılayıcılar, kompozitler, elyaf ve toz üretiminde, elektronik sanayisinde, makine imalat sektöründe kesici – delici – aşındırıcı yüzey üretiminde, havacılık üzerine birçok alanlarda uygulanmakta ve önem kazanmaktadır.

ÖRNEK RESİMLER

VİDEO ÖRNEĞİ

ALD (Atomik Katman Biriktirme)

ALD

ALD yöntemi gaz fazında gerçekleşen ince film biriktirme yöntemlerinden biridir . En genel tanımı ile ALD yöntemi seçilen reaktif kimyasal öncüllerin kendi aralarında gaz fazında bir reaksiyona izin vermeyecek şekilde substrat üzerine sıralı olarak gönderilmesiyle kaplamanın yüzeyde biriktirildiği bir yöntemdir.

VİDEO ÖRNEĞİ

ALD prosesinde asla gaz fazında gerçekleşen reaksiyon olmaz.

Bütün reaksiyonların yüzeyde gerçekleşmesini sağlamak için sıralı proses uygulanır.

Bütün yüzeyler bir atomik katman kaplandıktan sonra reaksiyonlar durur.

Filmler stokiyometriktir.

KULLANIM ALANLARI

• Elektrolüminesans ekranlar

• Hard Disklerin okuma yazma kafası

• DRAM’lerin içindeki kapasitörlerdeki yalıtkanlar

• Mikroelektrikteki yalıtıcı katmanlar

• Transistör kapılarındaki metaller ve yalıtkanlar

• Optik filtreler

ÖRNEK

Elektrolüminesans aydınlatmalı gösterge paneli

ÖRNEK

Disk okuma yazma kafası

ALD ile a,e) %0, b, f) %5, c, g) %10 ve d, h) %20 Al katkılı ZnO filmler ile kaplanmış ve 450 °C’de tavlanmış cam liflerinin düşük ve yüksek magnifikasyon FESEM görüntüleri

AVANTAJ-DEZAVANTAJ

Learn more about creating dynamic, engaging presentations with Prezi