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Transcript

한장의 기판을 사용하여 센서, 액츄에이터, 전자회로를 집적화한 디바이스

IS Lab.에서의 MEMS는?

이러한 약한 힘으로 어떻게 렌즈를 움직이는 힘을 얻을 수 있을까?

F=εSV²/2d²

Principle of MEMS actuator

MEMS is...

LOW PRICE!!

LOW Power consumption!!

Electrostatic actuator

F

정전기력를 이용하여 움직이는 구동체

+

F=εSV²/2d²

-

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