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ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 면저항&투과율 측정
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면저항=표면적의 저항
ITO(Indium Tin Oxide) 박막의 면저항&투과율 측정
-7조-
실험 방법
ITO 박막의 투과율 측정
이론적 배경
( 시료가 있을 때의 빛의세기 )
투과율이란?
투과도 또는 투과 계수라고도 하며 평면의 경계면에 수직으로 평행 광선이 입사했을 때, 물질 내 또는 경계층을 투과한 파장의 강도를 백분율로 나타낸것이다.
이를 측정하기 위해서 UV/VIS spectrometer 라는 장비를 주로 사용한다.
( 시료가 없을 때의 빛의 세기 )
투과율은 ITO박막의 품질을 결정하는데 중요한 요소
투과율이 안좋은 ITO박막은 스마트폰을 똥폰으로 만들어 버림
박막 5번 측정하여 평균 면저항을 구함
다른 ITO박막도 이와 똑같이 한다
ITO(Indium Tin Oxide) 이란?
UV/VIS Spectrometer
결과값 읽기
전도성 투명전극
X축: 파장 (가시광선 영역)
Y축:기준 시편에 대한 투과율
ex)550nm 파장의 투과율이 80%
인듐 주석 산화물(즉, 세라믹)
금속과 같이 전기전도성을 가지면서 투명하기 때문에 display 등 광학적인 용도가 많다.
아하!!!
이놈은 550nm의 파장을 기준시편의 80%만 투과시키는구나!!!! 그렇구나!!!!!
그래프와 데이터값을 인쇄한다.
다른 ITO박막도 이와 같이 한다.
ITO박막의 면저항 측정
실험목적
이론적 배경
주의사항
단위:Ohm/sq
(저항율 식)
면저항이란?
얇은 막의 저항값을 특징짓는 지표. 흔히 박막의 단위 두께당 비저항으로 표시한다.
간단히 말해서 어떠한 물질의 표면이 가지는 저항성분을 뜻한다.
체적저항이란?
물질의 벌크가 가지는 저항성분을 의미한다.
예를 들어 부피가 큰 물질이라면 체적 저항에 비해 면저항이 훨씬 작고 반도체 처럼두께가 얇고 표면적이 상대적으로 큰 박막 형태라면 체적저항보다 면저항이 더 크다.
면저항의 크기는 물질 자체의 전기적 물성, 표면적의 넓이, 표면의 거칠기,주변 온습도에 따라 다르다. 그중 표면의 거칠기와 습도에 굉장히 민감하게 반응한다.
-ITO박막을 만질 때는 항상 장갑을 낄 것
-ITO는 깨지면 손을 다칠수있으므로 항상 조심
-면저항의 정의를 이해하고 측정법을 익혀 ITO박막의 면저항을 측정한다.
-UV/VIS spectrometer의 사용법을 익히고 이를 통해 ITO박막의 가시광선 영역의 투과율을 측정한다.
-면저항과 투과율을 측정하여 ITO박막의 물리적, 전기적 특성을 이해한다
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참고 : 재료 공학 실험