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반도체 가스센서 제조

International management plan
by

Jiyoung Choi

on 17 September 2012

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Transcript of 반도체 가스센서 제조

“Happy Truck”
“Expedition 206” 화학공학과
08학번 최지영
08학번 현나경 NO 감지센서를 위한
다양한 형태의
SnO 나노material 제조 부식성 가스에 대한 좋은 저항성

안정한 결정구조와 좋은 기계적 강도

저가,소형 및 취급의 용이성 2. 산화물 반도체의 종류 SnO , TiO , WO , ZnO, In O 등 1. 기능

- 반도체 표면에 가스가 흡착했을 때 전기전도도의 변화를 통해 가스를 감지할 수 있음 촉매반응공학연구실 1. The purpose of the experiment

2. Introduction

3. Experimental

4. The plan Thermal evaporation Thermal evaporation

: 증착하고 싶은 필름을 gas형태로 웨이퍼 표면으로 이동시켜

gas의 반응으로 표면에 필름을 증착시키는 방법 1. XRD
→ 결정구조를 알아낼 수 있음
→ 만들어진 물질이 SnO 임을 확인 2. SEM(주사전자현미경), TEM(투과전자현미경)
→ 만들어진 나노섬유형상을 알 수 있음 도포하고자 하는 source material을 도가니에 넣음
→ source material이 증기상태로 됨
→ evaporant가 이동하여 기판의 표면에 충돌
→ evaporant가 표면에 달라붙어 기판에 흡수됨 <조작변인>
1. 전구체물질, 증착방식
2. SnO 노출 시간
3. SnO 노출 온도 일정 실험목표 SnO 를 이용하여 다양한 모양의 나노material을 만듦

→ NO 가스에 가장 높은 감도와 100% 회복을 보이는

나노형상을 찾아내는 것 2 2 2 2
1) 정의 및 특징

길이,폭,두께 중 적어도 하나 이상의 치수가 100nm 이하인 물질을 지칭
구조적으로 견고, 내부와 외부의 표면을 기능화 시키기 쉬움
→ 감지를 목적으로 하는 탐침 역할 or 이온의 흐름을 동시에 측정할 수 있음
→ 생물학적, 화학적 분석이 가능


2) 연구동향

21C 초, IT, BT에 이어 NT가 비약적으로 발전
nanowire, nanotube, nanorod 등 여러 형태의 나노물질이 전자산업에 이용 연구배경2 - NO 의 유해성 2. NO 대기오염, 산업발전으로 발생하는 유독가스(CO, H S, SOx, NOx) 중 하나

생리적인 한계농도 : 1.5ppm

호흡시 체내로 침입해 폐포 깊숙히 도달하여 헤모글로빈의 산소운반능력 저하시킴, 점막자극

광학스모그 유발 1. Nano material 2 2 2 2 3 2 3 실험방법 ① preparation of SnO nano material

② characterization(XRD,SEM,TEM)

③ injecting NO gas

④ sensing measurements 2 2 characterization (XRD,SEM,TEM) 2 2 2 감사합니다 Hope that was useful! Contents 연구배경 1 - Nano material 반도체식 가스센서 1. 특징

유독가스, 가연성가스에 어떤 응답을 나타내
감지할 수 있는 가스 종류가 많음

센서제작이 용이

검출회로의 구성이 간단

재료와 촉매를 여러가지로 바꾸고 조합할
수 있음 2. 기본원리

산화물 반도체에 고온을 가하면 표면에 산소가 흡착

→ 흡착된 산소가 표면에서 전자를 받아들여 음으로 대전

→ 환원성 가스가 노출되면 가스가 산화되면서 전자가
반도체에 다시 주입되어 저항이 줄어듦

→ 가스의 농도에 비례하는 저항의 감소를 센서신호로 얻음 2
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