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Técnicas de caracterización: XPS y AES

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by

oscar bermudez

on 10 November 2014

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Transcript of Técnicas de caracterización: XPS y AES

Introducción
XPS ó ESCA
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XPS y AES
Es un método ampliamente usado para la caracterización de superficies. Suministra gran información cualitativa y semicuantitativa de la muestra. Se tiene información de enlaces y elementos químicos.
Instrumentación
2. Relajación y emisión de Auger
Permite relacionar la estructura del material con su composición química, obteniendo información sobre: homogeneidad, procesos de difusión, segregación de contaminantes, composición de conglomerados, localización y tipo de impurezas, etc
Patricia Pacheco
Fernando Gsama
Alexander Ojeda
Johan Giraldo
Técnicas de caracterización:
Espectroscopía Electrónica de Rayos X (XPS ó ESCA)
Los rayos X se definen como una radiación electromagnética de longitud de onda corta. (~10-5 Å - 100 Å). Sin embargo, la espectroscopía de rayos X convencional abarca la región de aproximadamente 0.1 Å a 25 Å.
Cuando una radiación X o un chorro de electrones interacciona con la materia se producen una serie de procesos muchos de los cuales tienen aplicación en el análisis químico.
Propiedades
Identificación de todos los elementos presentes (excepto H, He) en concentraciones mayores al 0.1%.
Determinación semicuantitativa de la composición elemental de la superficie (error < ± 10 %).
Información acerca del entorno molecular: estado de oxidación, átomos enlazantes, orbitales moleculares.
Perfiles de profundidad de 10 nm no-destructivos y destructivos de profundidades de varios cientos de nanometros.
Variaciones laterales en la composición de la superficie.
Estudios de superficies hidratadas.
Instrumentación XPS
La parte central del equipo lo constituye la cámara principal de vacío en la que la muestra es analizada. Los fotoelectrones viajan desde la muestra hasta el detector sin colisionar con ninguna partícula de fase gaseosa / La composición superficial de la muestra permanece invariable
El haz de electrones que emerge de la muestra se
enfoca con un sistema de lentes ópticos electrónicos
Instrumentación del XPS
Aplicaciones
Análisis químico de superficies.
Mapas químicos de composición de materiales.
Análisis de aceros y otras aleaciones.
Caracterización de láminas delgadas por ARXPS.
Realización de perfiles de profundidad por XPS-AES.
Caracterización de circuitos electrónicos.
Estudio de soldaduras.
Caracterización de polímeros.
Espectroscopía Electrónica de Auger (AES)
1. Ionización
La espectroscopía Auger

está basada en la medición de la energía cinética de los electrones emitidos. Cada elemento en una muestra tiene un espectro característico de picos a varias energías cinéticas.
Ventajas
Desventaja:
Alta sensibilidad superficial, por lo que materiales con alta contaminación de O2 y C atmosférico.
análisis de contaminantes en películas delgadas
Identificación de elementos químicos superficiales (profundidad hasta 20 A)
Cuantificación de los perfiles de concentración de compuestos en superficies
Espectrómetro de Auger
El espectrómetro de Auger consiste en una consola que contiene una cámara que opera al ultra alto vacío, un carrusel que contiene las muestras, un manipulador y una combinación de cañón electrónico con unidad analizadora de energía.
Funcionamiento
Aplicaciones
Espectroscopía
Electrónica de
Auger
GRACIAS !!
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